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高壓微波電源解決方案

一、概述

工業(yè)微波設(shè)備因其操作環(huán)境及模式的差異比較大，對(duì)電源本身的要求非常高，麥米電氣微波電源，以智能、節(jié)能、及小型化設(shè)計(jì)的特點(diǎn)，深度貼合整機(jī)客戶需求。目前我們微波電源產(chǎn)品已應(yīng)用在食品、醫(yī)藥、木材、化工產(chǎn)品、茶葉、制藥、陶瓷、UV廢氣環(huán)保，紙類等行業(yè)所需干燥、殺菌、反應(yīng)、燒結(jié)、提取，加熱等作用。并且正在朝更高功率段、更可靠設(shè)計(jì)、實(shí)現(xiàn)更多功能的方向進(jìn)步。

二、產(chǎn)品介紹

三、應(yīng)用案例——人造鉆石MPCVD設(shè)備解決方案

半導(dǎo)體行業(yè)中，金剛石占有舉足輕重的地位，在精密制造、航天航空等國(guó)民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域得到了非常廣泛的應(yīng)用。同時(shí)大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石的突破，對(duì)金剛石的生長(zhǎng)、加工技術(shù)、關(guān)鍵設(shè)備提出了新要求。其中微波等離子體化學(xué)氣相沉積法（MPCVD）因其微波能量無(wú)污染、氣體原料純凈、沒(méi)有催化劑和雜質(zhì)的摻入等優(yōu)勢(shì)，成為制備大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石最有發(fā)展前景的技術(shù)之一！

麥米電氣變頻高壓電源WEPEX系列多年來(lái)致力于MPCVD設(shè)備的應(yīng)用而不斷研發(fā)創(chuàng)新，推出了WEPEX 4000H、WEPEX 6KW的微波源系統(tǒng)，包含環(huán)形器、檢波器、波導(dǎo)、3KW/6KW磁控管和高壓電源。作為應(yīng)用設(shè)備的“心臟”驅(qū)動(dòng)工作，將原料氣體經(jīng)過(guò)微波能量激發(fā)逐步生長(zhǎng)成金剛石。

近年來(lái)由于市場(chǎng)對(duì)金剛石生長(zhǎng)更快速的需求，對(duì)微波功率有了更大的要求。為此麥米電氣逐步推出WEPEX 10KW、WEPEX 15KW的微波源系統(tǒng)。整套系統(tǒng)以集成度更高、功率輸出穩(wěn)定、安裝操作便攜化、抗電網(wǎng)干擾等特點(diǎn)得到了市場(chǎng)的認(rèn)可，同時(shí)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化。